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    高温CVD系统

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    高温CVD系统

  • 所属分类:cvd系统

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/01/19
  • 规格:
  • 类型:
  • 在线询价
  • 详细介绍
  • 型号:BTF-1700C-CVD

    设备特点:

     

    此款1700℃高温CVD系统,是由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统(或选配低真空系统)所组成。此设备主要用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便;设备的各项技术参数,30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。

     

     

     

     

     

     

     

    加热区参数

    炉管尺寸:Φ60/80×1000mm(管径可选)

    加热元件:硅钼棒

    加热区长度:300mm
    恒温区长度:150mm
    工作温度:1550℃
    高温度:1650℃
    控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
    控温精度:±1℃

    推荐升温速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min
    工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

    额定功率:5.2 KW

    外型尺寸:610×440×720 mm

    标准配件:高纯刚玉管1支,氧化铝管堵2对,不锈钢法兰1套,氟胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支,小保险1个;

    密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)

    端口可按实际使用扩展。

     

     

     

     

     

     

     

    气路系统参数:

     

    质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

    准确度:±1.5%

    线性:±0.51.5%

    重复精度:±0.2%

    响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

    工作压差范围:0.10.5 MPa

    大压力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    显示:4位数字显示

    工作环境温度:5~45高纯气体             

    内外双抛不锈钢管:Φ6

    压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

    截止阀:Φ6

    连接头类型:双卡套不锈钢接头。

    可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

     

     

     

     

     

     

     

    低真空系统参数:

     

    国产油泵型号:BSV-10

    抽速:10m³/h

    极限真空度:5*10-1pa

    电源:220v 50hz

    电机功率:0.4kw  

    进排气连接口:KF25

    用油量:1.1L

    电机转速:1440rpm

    工作环境温度:5-40℃

    噪音:≤56db

    电阻真空计参数:

    1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

    2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

    3.测量路数: 1路

    4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

    5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

    6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    7.功耗: 20W

    采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    高真空系统参数:

     

    空气相对湿度:≤85%

    工作电压:AC220V±10%  50/60HZ

    功率:1KW

    系统整体极限真空度:10-5Pa

    实验真空度:10-3Pa

    外形尺寸:850×600×650mm

    机械泵:

    抽气速率:10m³/h

    容油量:1.1L

    电机功率:400W

    极限压强:6×10-2Pa

    分子泵:

    抽气速率:100L/S

    极限压强:6×10-6Pa

    启动时间:<2min

    额定转速:4300转/分

    冷却方式:环境温度5-32℃时,风冷;5-40℃时,水冷。

    分子泵控制器:

    电压:220V±22V

    启动电流:≤7A

    输入频率:47HZ—63HZ

    大输出功率:≤150W

    大加速电压:≤40V

    加速时间:≤3min

    频率(双速):高速705HZ±10HZ

                 低速430HZ±5HZ

    复合真空计:

    测量路数:2路(电阻规、电离规各1路)

    工作模式:手动/自动

    电阻单元参数

    规管型号:ZJ-52T电阻规

    测量范围:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

    有效范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

    控制范围:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

    电离单元参数

    规管型号:ZJ-27电离规

    可测范围:5.0Pa~1.0×10-5Pa

    有效范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

    控制范围:1.0Pa~5.0×10-5Pa

    规管除气方式:焦耳去气

    其他参数

    控制路数:4路

    控制方式:点动或区域控制/带掉电记忆

    控制精度:±1%

    采样时间:1S

    电源:220V±10% 50HZ

    功耗:50W

    使用环境温度:0℃~45℃

    湿度:≤85%

    连接管路:

    采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

    采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

     

     

     备注:

     

    可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。


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